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薄膜测试配置方案

发布时间:2019-05-27 15:55人气:

方案介绍:
 
   附着在基底上的薄膜表面进行反射测试时,会出现一副干涉条纹的图样,配置合适的测试方案,通过特定测试软件,可以计算出薄膜的厚度。 
   薄膜测量系统是基于白光干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。测试得到白光干涉图样后,再进行数学运算计算出薄膜厚度。
   对于单一类型的膜层来说,如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。
 
   将光纤光谱仪与光纤探头在生产线上构建实时测量系统,可为高精度工件加工线上质量监测和工业镀膜过程提供了一种灵活方便的测量手段。
   薄膜测量主要应用于半导体晶圆工业,此时需要监控等离子刻蚀和沉积过程,还可以用于其它在金属和玻璃基底上镀制透明膜层的测量领域。
    

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